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兼容6⼨和8⼨晶圆贴装，占地⾯积⼩；
贴装精度≤±10μm；
UPH可达700pcs（热压时间按1s算）；
机电⼀体、模块化集成设计，可根据需求配置模块；
模组接口通⽤化,快速装拆,柔性匹配；
EtherCat总线控制,布线/信息交互简单；
具备视觉校准功能及卓越的运动重复精度和稳定性；
适⽤产品：晶圆芯⽚、散料芯⽚、AMB等物料